[SmartAuto 진념순(陳念舜) 기자 보도] 

요즘 대만의 반도체 및 패널 산업은 국제 정치적 영향을 받아 공장을 여러 국가로 분산하거나 다음 세대 혁신 제품 개발에 집중하며 공급망 장비 경쟁이 더욱 치열해지고 있습니다. 2022년 8월 24일부터 27일까지 개최된 타이베이 국제 자동화 산업 박람회에서는 토요 오토메이션 회사가 남강(南港) 전시관 4층 L608 부스에서 2021년에 설립된 자회사 "토요 나노 시스템"을 통해 최신 연구 개발 제품을 공개했습니다. 이 제품에는 초고속 에어베어링 단축 플랫폼, 정밀 리니어 중공 플랫폼, 에어베어링 XY 플랫폼, XYZ 에어베어링 마이크로 드릴링 머신 하위 시스템 등이 포함됩니다.

토요 나노 시스템의 부사장 등귀돈 (鄧貴敦)은 "초고속 에어베어링 단축 플랫폼"은 맞춤형 제품으로, 비접촉식 에어베어링 공기 부유 구동을 사용하기 때문에 이동할 때 구성 요소 간의 접촉이 없으며 공기를 매개로 한 감쇠가 뛰어나 시간이 지남에 따라 진동, 마모 또는 성능 저하로 이어지지 않습니다. 속도가 100mm/s로 빠른 속도에 도달할 때 속도 변동이 0.1%로만 발생합니다.

동시에 연마와 같은 기술적인 어려움을 극복하여 고직선도, 평면도 0.5μm/300mm로 달성 가능하며, 정밀 기하학 성능을 쉽게 구현하여 6가지의 자유도(선형 정밀도, 수평/수직 직선도, 자유도 Yaw, Pitch, Roll) 및 축 간의 직교도 ±3 arc/sec을 달성할 수 있습니다.

윤활유를 사용하지 않아 오염 플랫폼을 방지할 수 있으므로 초고속 공기 부유 단축 플랫폼은 Class 1 클린 룸 및 의료 관련 산업에서 최상의 선택이 됩니다. 모터는 작은 출력만 필요하며 반복정밀도는 ±0.2μm/300mm에 도달하여 Micro LED, 반도체 AOI, PCB 검사, 자동화된 정밀 측정, 레이저 절단 등 정밀 측정 프로세스 정렬에 적합합니다.

또 다른 새로운 제품인 "정밀 리니어 중공 플랫폼"은 기기 가운데 대형 공간을 제공하여 광원 및 CCD 렌즈와 조합이 가능하여 AOI 검사와 관련된 요구 사항에 적합합니다. 다양한 크기의 디자인으로 100mm에서 300mm까지의 이동 범위를 선택할 수 있으며 직선도와 평면도가 나노 레벨급에 도달하여 다른 드라이브 방식을 가진 경쟁 제품을 앞서갑니다.

고객 서비스를 계속 확대하고 고품질과 안정성이 유지되는 제품을 지속적으로 개발하며 효율적인 서비스를 제공하면서 토요는 고객에게 다양한 제품 선택할 수 있는 기회를 제공해 드립니다. 기계 및 UI 소프트웨어의 효율적인 통합을 통해 고객은 토요의 다양한 제품을 편리하게 선택하고 효율적으로 구매할 수 있습니다